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探針臺(tái)分析 | 拒絕“盲目探測(cè)”
2024-06-21 11:03
隨著科技的發(fā)展，探針臺(tái)國(guó)產(chǎn)化有了很大的突破。探針臺(tái)是在半導(dǎo)體行業(yè)中進(jìn)行晶圓測(cè)試時(shí)不可或缺的設(shè)備。
探針臺(tái)主要為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)。探針臺(tái)可以吸附多種規(guī)格的芯片，并提供多種可調(diào)測(cè)試針和探針座。集成電路的電壓、電流、電阻和電容電壓特性曲線可以通過測(cè)量?jī)x器完成。主要應(yīng)用于晶圓和晶粒的測(cè)試，在尚未封裝的晶圓階段對(duì)其進(jìn)行篩選，剔除次品，降低后端封裝的成本。
探針臺(tái)調(diào)試時(shí)用到的晶圓主要有3種：Dummy wafer，Calibration wafer，Correction wafer
Dummy wafer用于調(diào)試驗(yàn)證探針臺(tái)的取放動(dòng)作，傳送動(dòng)作是否正確。單步的動(dòng)作確認(rèn)完之后，再利用很多片Dummy wafer放置于Cassette中進(jìn)行模擬運(yùn)行，驗(yàn)證長(zhǎng)時(shí)間的取放、傳送動(dòng)作是否正常。經(jīng)過Dummy wafer的長(zhǎng)時(shí)間驗(yàn)證運(yùn)行，沒有異常情況之后。廠家的設(shè)備工程師使用Calibration wafer進(jìn)行最終的精度調(diào)整和驗(yàn)證，確保精度達(dá)到規(guī)格需求。在前2步調(diào)試和精度確認(rèn)完成之后，就可以交給客戶進(jìn)行正式生產(chǎn)前的整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的確認(rèn)。客戶工程師使用Correction wafer，執(zhí)行和正常生產(chǎn)時(shí)同樣的生產(chǎn)動(dòng)作，得到測(cè)試結(jié)果。如果符合預(yù)期要求，機(jī)臺(tái)就可以交付給生產(chǎn)部門。
對(duì)于探針臺(tái)的選擇，首先要明確自己的應(yīng)用需求。不同的研究領(lǐng)域和應(yīng)用場(chǎng)景可能需要不同類型的探針臺(tái)。其次，要考慮實(shí)驗(yàn)室條件，實(shí)驗(yàn)室的空間大小、電源要求、接口需求等都會(huì)對(duì)探針臺(tái)的選擇產(chǎn)生影響。接著，在選擇的時(shí)候，要比較不同型號(hào)的技術(shù)參數(shù)，包括樣品臺(tái)尺寸、移動(dòng)行程、移動(dòng)精度、顯微鏡配置、溫控系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等。最后，要考慮價(jià)格，是否性價(jià)比。
深科達(dá)智能裝備股份有限公司，一家半導(dǎo)體封測(cè)更具價(jià)值的企業(yè)。在探針臺(tái)領(lǐng)域，深科達(dá)在研發(fā)過程中，突破研發(fā)難題，成功研發(fā)出符合市場(chǎng)、性價(jià)比更高的探針臺(tái)。
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