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如何定義探針臺(tái)?探針臺(tái)的工作原理是什么?


2024-07-09 10:01

探針臺(tái)是一種在半導(dǎo)體研發(fā)和制造過程中,用于檢測(cè)晶圓和電子元件電氣特性的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于芯片、材料領(lǐng)域研發(fā)和檢測(cè)復(fù)雜高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在保證質(zhì)量和可靠性,降低研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,多用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路和封裝測(cè)試行業(yè)。


探針臺(tái)的工作原理是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),通過將探針與被測(cè)元件的引腳接觸,使元件與測(cè)試儀表連接,將測(cè)試信號(hào)從儀表發(fā)送到被測(cè)晶圓上的各個(gè)器件,并獲取各個(gè)器件的信號(hào)反饋,通過收集這些信號(hào)來測(cè)試芯片的各種電氣特性,比如IV、CV、RF等。


探針臺(tái)的主要組成部分包括探針臺(tái)臺(tái)體、顯微鏡光學(xué)顯示系統(tǒng)、探針夾具測(cè)試組件三部分,各組成部分根據(jù)測(cè)試要求選擇不同的配置??偟膩碚f,探針臺(tái)在半導(dǎo)體制造和研發(fā)領(lǐng)域扮演著重要的角色,其精度和性能對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量有著直接的影響。

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