產品描述
概述：
全自動晶圓探針臺SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大規(guī)模集成電路）和VLSI（超大規(guī)模集成電路）晶圓測試的探針臺。
優(yōu)點特點：
1、高精度探針臺測試主體的X/Y軸的絕對定位精度可達±2μm；
2、高剛性Z/θ軸能實現Chuck長時間穩(wěn)定測試；
3、提供自動上料功能，擁有探針與Pad自動對位功能。采用獨立的光學系統使探針卡上所有的針尖能夠自動精準地扎在相應的Pad上；
4、設備參數和運行狀態(tài)信息等數據可以自由發(fā)送或接收到硬盤和外部計算機系統，方便實時查看和追溯分析。
參數規(guī)格：
| 序號 | 項目 | 內容 | 備注 | |
| 1 | 機臺尺寸及重量 | 尺寸（L*W*H） | 1590*1620*1460mm | |
| 2 | 重量 | 約2.2T | ||
| 3 | 晶圓尺寸規(guī)格 | 晶圓直徑 | 8"/12" | |
| 4 | 晶圓厚度 | 150~2200μm | ||
| 5 | 厚度偏差 | ≤±50μm | ||
| 6 | Die尺寸 | 0.2~100mm | ||
| 7 | 測試方向 | 測試順序 | X/Y方向連續(xù)探測 | |
| 8 |
θ |
可調節(jié)范圍 | ±5° | |
| 9 | 分辨率 | 0.00007° | ||
| 10 | X/Y軸 | 精度 | ≤±2μm | |
| 11 | 最大速度 | 250mm/s | ||
| 12 | 探測行程 | ≥±160mm | ||
| 13 | 分辨率 | 0.1μm | ||
| 14 | Z軸 | 精度 | ≤±2μm | |
| 15 | 最大速度 | 50mm/s | ||
| 16 | 行程 | ≥80mm | ||
| 17 | 分辨率 | 0.1μm | ||
| 18 | OD范圍 | 0~500μm | ||
| 19 | Index Time | 循環(huán)時間 | 230ms（6mm以內的Die Z升降0.5mm） | |
| 20 | 預對準 | 精準度 | 角度≤±0.5°，中心位置≤0.2mm | |
| 21 | 觸摸屏 | 規(guī)格 | 15Inch五線電阻式 | |
| 22 | 大電流測試 | 電流范圍 | 0~800A | 選配 |
| 23 | 高壓測試 | 電壓范圍 | 0~3000V | 選配 |
| 24 | 高低溫測試 | 溫度范圍 | -60~200℃ | 選配 |
| 25 | 控溫精度 | ±0.1℃ | ||
| 26 | 溫度穩(wěn)定性 | 0.1℃ | ||
| 27 | 溫度均勻性 | ≤100°C時≤+0.5°C ＞100°C時＜+0.5% |
||
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